校准阶段
价格(JPY) ¥780,000
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    接线图
机械规格
型号
YRA-200
反向型号
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台面尺寸
210mm×150mm
导轨方式
XY:精密直线导轨 θ:十字滚柱轴承
移动范围
XY:±5mm θ:±5°
传动方式
滚珠丝杠、螺距 1.0mm
分辨率 整步/半步
XY:1μm/0.5μm θ: 0.000498°/0.000249°
最高速度
XY:10mm/sec : Half 20kpps  θ:4.98°/sec : Half 20kpps
重复定位精度
X:≦±0.5μm(AVE. ±0.133μm) Y:≦±0.5μm(AVE. ±0.186μm)
空程
X:≦ 2μm(AVE. 0.666μm) Y:≦ 2μm(AVE. 1.097μm) θ:≦ 0.005°(AVE. 0.0013°)
水平直线度
X:≦ 3μm/10mm(AVE. 0.358μm/10mm) Y:≦ 3μm/10mm(AVE. 0.473μm/10mm)
垂直直线度
X:≦ 3μm/10mm(AVE. 0.176μm/10mm) Y:≦ 3μm/10mm(AVE. 0.345μm/10mm)
角度再现性
θ:≦ 0.001°(AVE. 0.0001°)
背隙
X:≦ 1μm(AVE. 0.353μm) Y:≦ 1μm(AVE. 0.589μm)  θ:≦ 0.005°(AVE. 0.0008°)
刚度
X:0.03arcsec/N・cm(AVE. 0.029 arcsec/N・cm) Y:0.05arcsec/N・cm(AVE. 0.013 arcsec/N・cm)
水平承载能力
343N (35kgf)
表面跳动
θ:≦5μm/±5°(AVE. 1.938μm/±5°)
偏心
θ:≦5μm/±5°(AVE. 1.277μm/±5°)
主要材料
Aluminum Alloy
外观
白色表面氧化处理
自重
5.15kg
电气规格
光电传感器基板
XY:F-115(HOME, LIMIT), θ:F-115R(HOME, LIMIT)
5 相步进电机
东方电机:PK523HPMB
连接器
广濑: RP13A-12JG-20PC
大修费
¥160,000~
※大修费用不包括零部件费
润滑油更换选项
洁净润滑脂更换费( 型号后缀为“-C”)
¥68,000~
真空润滑脂更换费(型号后缀为“-V”)
¥68,000~
电机更换选项
同形电机更换费
¥45,000~
异形电机更换费
¥90,000~
※电机交换费不包括电机费用
备注和特点

机身厚度: 55mm
静止时负荷容量※:1961N (200kgf)
※ 工件重心位于平台中心(垂直等分布)、工件不运动时可承受的载荷。