校准阶段
YRA-071
价格(JPY)
¥460,000
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接线图
机械规格
型号
YRA-071
反向型号
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台面尺寸
70mm×70mm
导轨方式
XY：精密⼗字滚柱导轨 θ：十字滚柱轴承
移动范围
XY：±5mm θ：±5°
传动方式
滚珠丝杠、螺距 1.0mm
分辨率 整步/半步
XY：1μm/0.5μm θ: 0.001273°/0.000637°
最高速度
XY：10mm/sec : Half 20kpps θ：12.7°/sec : Half 20kpps
重复定位精度
X：≦±0.5μm（AVE. ±0.094μm） Y：≦±0.5μm（AVE. ±0.102μm）
空程
X：≦ 2μm（AVE. 0.171μm） Y：≦ 2μm（AVE. 0.193μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0014°）
水平直线度
X：≦ 1μm/10mm（AVE. 0.361μm/10mm） Y：≦ 1μm/10mm（AVE. 0.35μm/10mm）
垂直直线度
X：≦ 1μm/10mm（AVE. 0.212μm/10mm） Y：≦ 1μm/10mm（AVE. 0.179μm/10mm）
角度再现性
θ：≦ 0.001°（AVE. 0.0001°）
背隙
X：≦ 1μm（AVE. 0.118μm） Y：≦ 1μm（AVE. 0.133μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0011°）
刚度
X：0.3arcsec／N・cm（AVE. 0118 arcsec/N・cm） Y：0.3arcsec／N・cm（AVE. 0.108 arcsec/N・cm）
水平承载能力
68.6N (7kgf)
表面跳动
θ：≦5μm/±5°（AVE. 1.621μm/±5°）
偏心
θ：≦3μm/±5°（AVE. 0.696μm/±5°）
主要材料
Aluminum Alloy
外观
白色表面氧化处理
自重
2.25kg
电气规格
光电传感器基板
XY:F-115(HOME, LIMIT), θ:F-115R(HOME, LIMIT)
5 相步进电机
东方电机:PK523HPMB
连接器
广濑: RP13A-12JG-20PC
大修费
¥120,000~
润滑油更换选项
洁净润滑脂更换费（ 型号后缀为“-C”）
¥45,000~
真空润滑脂更换费（型号后缀为“-V”）
¥45,000~
电机更换选项
同形电机更换费
¥45,000~
异形电机更换费
¥90,000~
控制装置
附件
备注和特点
机身厚度: 60mm