校准阶段
YRA-070
机械规格
型号
YRA-070
反向型号
---
台面尺寸
70mm×70mm
导轨方式
XY:精密⼗字滚柱导轨 θ:十字滚柱轴承
移动范围
XY:±3mm θ:±3°
传动方式
滚珠丝杠、螺距 1.0mm
分辨率 整步/半步
XY:2μm/1μm θ: 0.002546°/0.001273°
最高速度
XY:10mm/sec : Half 10kpps θ:12.7°/sec : Half 10kpps
重复定位精度
X:≦±0.5μm(AVE. ±0.088μm) Y:≦±0.5μm(AVE. ±0.075μm)
空程
X:≦ 2μm(AVE. 0.356μm) Y:≦ 2μm(AVE. 0.354μm) θ:≦ 0.005°(AVE. 0.0013°)
水平直线度
X:≦ 1μm/6mm(AVE. 0.237μm/6mm) Y:≦ 1μm/6mm(AVE. 0.253μm/6mm)
垂直直线度
X:≦ 1μm/6mm(AVE. 0.154μm/6mm) Y:≦ 1μm/6mm(AVE. 0.187μm/6mm)
角度再现性
θ:≦ 0.001°(AVE. 0.0002°)
背隙
X:≦ 1μm(AVE. 0.35μm) Y:≦ 1μm(AVE. 0.288μm) θ:≦ 0.005°(AVE. 0.0013°)
刚度
X:0.6arcsec/N・cm(AVE. 0474 arcsec/N・cm) Y:0.6arcsec/N・cm(AVE. 0.434 arcsec/N・cm)
水平承载能力
49N (5kgf)
表面跳动
θ:≦5μm/±3°(AVE. 2.708μm/±3°)
偏心
θ:≦3μm/±3°(AVE. 0.517μm/±3°)
主要材料
Aluminum Alloy
外观
白色表面氧化处理
自重
1.45kg
电气规格
光电传感器基板
XY:F-106(HOME, LIMIT), θ:F-106R(HOME, LIMIT)
5 相步进电机
东方电机:PK513PB
连接器
广濑: RP13A-12JG-20PC
大修费
¥120,000~
润滑油更换选项
洁净润滑脂更换费( 型号后缀为“-C”)
¥45,000~
真空润滑脂更换费(型号后缀为“-V”)
¥45,000~
电机更换选项
同形电机更换费
¥45,000~
异形电机更换费
---
控制装置
附件
备注和特点
机身厚度: 45mm