校准阶段
CYAT-070
价格(JPY)
¥400,000
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接线图
机械规格
型号
CYAT-070
反向型号
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台面尺寸
80mm×80mm
导轨方式
精密直线导轨
移动范围
±15mm
传动方式
滚珠丝杠、螺距 1.0mm
分辨率 整步/半步
1μm/0.5μm
分辨率 微步（1/20分割）
0.05μm
最高速度
5mm/sec（10kpps/Half時）
累积误差
≦15μm/30mm
重复定位精度
≦±0.5μm
空程
≦2μm
水平直线度
≦3μm/30mm
垂直直线度
≦3μm/30mm
背隙
1μm以内
刚度
0.3arcsec/N・cm
水平承载能力
98N (10kgf)
主要材料
Aluminum Alloy
外观
白色表面氧化处理
自重
1.7kg
电气规格
光电传感器基板
F-115(HOME, LIMIT)
5 相步进电机
东方电机:PK523HPMB-C4
连接器
广濑: RP13A-12JG-20PC
控制装置
附件
备注和特点
机身厚度: 30mm