校准阶段
YRA-131
价格(JPY)
¥700,000
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接线图
机械规格
型号
YRA-131
反向型号
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台面尺寸
130mm×130mm
导轨方式
XY：精密⼗字滚柱导轨 θ：十字滚柱轴承
移动范围
XY：±5mm θ：±5°
传动方式
滚珠丝杠、螺距 1.0mm
分辨率 整步/半步
XY：1μm/0.5μm θ:0.000674°/0.000337°
最高速度
XY：10mm/sec : Half 20kpps θ：6.74°/sec : Half 20kpps
重复定位精度
XY：≦±0.5μm
空程
XY：≦ 2μm θ：≦ 0.005°
水平直线度
XY：≦ 1μm
垂直直线度
XY：≦ 1μm
角度再现性
θ：≦ 0.001°
背隙
XY：≦ 1μm θ：≦ 0.005°
刚度
XY：0.1arcsec／N・cm
水平承载能力
196N (20kgf)
表面跳动
θ：≦5μm/±5°
偏心
θ：≦3μm/±5°
主要材料
Aluminum Alloy
外观
白色表面氧化处理
自重
4.5kg
电气规格
光电传感器基板
XYθ:F-115(HOME, LIMIT)
5 相步进电机
东方电机:PK523HPMB
连接器
广濑: RP13A-12JG-20PC
大修费
¥140,000~
润滑油更换选项
洁净润滑脂更换费（ 型号后缀为“-C”）
¥60,000~
真空润滑脂更换费（型号后缀为“-V”）
¥60,000~
电机更换选项
同形电机更换费
¥45,000~
异形电机更换费
¥90,000~
控制装置
附件
备注和特点
机身厚度: 60mm